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ColdTABLE

专为光学实验设计的超低温平台

1. 振动情况
< 5 nm 振动水平 @ 3个方向

2. 降温性能
4.2 K 系统最低温
– 180 分钟,系统可从300 K降至 5 K

3. 尺寸信息 & 光学接口
– 超大样品腔尺寸可提供 > ∅ 100 mm 4K区域
– 丰富的光学窗口: 侧面8个光学窗口 + 顶部1个光学窗口

4. 低温物镜&压电运动模组 (选件)
低温物镜: N.A. 0.90, 0.60 & 0.36
完整的压电运动解决方案

·产品性能

产品性能 1 — 振动测试:结果 & 方法

振动水平是闭循环光学低温恒温器的最为关键的指标:ColdTABLE将振动控制在了纳米量级

用于测试ColdTABLE系统3个方向振动的激光干涉仪装置示意图

测试方法

一方面,与电容位移传感器和涡流位移传感器相比,激光干涉仪测试振动的结果更为准确;另一方面,考虑到ColdTABLE的主要应用场景也是光学实验,通过激光直接测量振动振幅是一种更合适的方法。

利用上图所示的测量装置,我们获得的ColdTABLE三个方向的振动振幅度:4K冷板相对于光学平台的振动。

➡ 振动幅度 < 5 nm @ 4.5 K, 系统最低温

1 kHz的采样率下,系统稳定在4.5 K时3个方向的振动数据

➡ Vibration (3-axis) < 20 nm @ continuous cooling process

1 kHz的采样率下,系统在持续降温过程中的3个方向的振动数据

产品性能 2 — 降温时间 & 温度稳定性

基于精巧的低温结构设计和极可靠的“Kevinion”系列低温温控仪,ColdTABLE展现了极致的温度稳定性。

➡ ColdTABLE 系统的温度控制模块

为用户提供极可靠和稳定的低温环境

低温温度控制模块构成
– 低温温度计, Cernox 1050
– 低温加热器, 50 Ω, max. 50 W

2. 低温温度模块位置
– 系统的默认温度控制模块(包括温度计和加热器)直接安装在4K样品板的底面

3. 低温温度控制器
– 来自多场科技的“Kelvinion”温度控制器

4. 可升级选件
– 如果客户需要,ColdTABLE最多支持安装4支低温温度计

5. 温控电学接口
– 所有电学接口转接放置在4K冷环区域

➡ 温度稳定性, 优于 2 mK @ 4.5 K & 20 mK @ all range

全工作温度区间下ColdTABLE的温度波动

➡ Cooling time, 180 mins, from 300 K to 5 K

无热负载下 ColdTABLE的降温曲线

·样品腔

➡ 标准光学接口布局

➡ 真空腔 (上半部分)

8个光学窗口均匀分布在样品腔侧面;
1个顶部光学窗口;
光学窗口外侧支持30 mm光学笼式结构&SM1 螺纹 / SM1.5 螺纹。

➡ 50K 防辐射屏蔽罩

镜面抛光的纯铝材质,极高的反射系数及极小的质量。

➡ 真空腔 (下半部分)

光纤气密接口;
其他功能气密接口。

图1. ColdTABLE 样品腔图示

➡ 样品腔温度分布区域划分

图 2. 无真空罩和防辐射罩的样品腔俯视图

(1) 50K 环状区域

用于低温下的热沉及防辐射罩的固定

(2) 4K 冷盘

整个区域皆可达到系统的最低温,其包含了4K 环状区域和样品区域,详见下图

(2.1) 4K 环状区域
(隶属4K冷盘)

所有的低温电学接口皆放在此处,确保各种引线可以被充分冷却,不会抬升样品温度

(2.2) 4K 样品区域
(隶属4K冷盘)

样品所在的位置,该部分完全预留给最终用户

样品腔 1 — 光学接口布局

作为一款专为光学实验而设计的低温系统,我们为ColdTABLE预留了丰富的光学接口。如适用于自由空间激光的光学窗口:侧面的8个窗口和顶部1个光学窗口;和适用于光纤的多种真空气密接口。

➡ 标准光学接口配置

8个侧面光学窗口,均匀分布在样品腔四周;
1个顶部光学窗口;
光学窗口外表面皆可支持30mm光学笼式接口&SM1或SM1.5安装螺纹

样品腔的光学接口:光学窗口空间布局

样品腔的剖面图

➡ 真空光学窗口支持光学笼式结构 & SM1.0 / SM1.5 螺纹

∅1 英寸光学窗口,支持30 mm的光学笼式结构

∅1.5 英寸光学窗口, 支持30 mm的光学笼式结构

➡ 真空光学窗口工程草图

光学窗口位置高度信息

光学窗口的详细结构

*提供多种光学镜片可选择

样品腔 2 — 4K 冷盘尺寸信息

为适应客户实际需求,我们提供了两种尺寸的样品腔供用户选择。其中较小的样品腔具有更低的振动水平和更优异的低温性能;而较大的样品腔则为复杂实验提供更充足的实验空间。

Standard

∅100 mm 冷盘
4.5 K 最低温度
5 nm 振动水平

.Max

∅200 mm 冷盘
5.6 K 最低温度
10 nm 振动水平

– 尺寸信息 (mm)

50K 环状区域,I.D. ∅120/O.D. ∅170
4K 冷盘,∅100
4K 样品区域,∅75

50K 环状区域,I.D. ∅210/O.D. ∅280
4K 冷盘,∅200
4K 样品区域,∅148

– 信号接口模块区域 (默认)

24 Pins 用于直流测试
24 pins 用于压电运动控制
1 pcs A-type 模块 (预留)
3 pcs B-type 模块 (预留)

24 Pins 用于直流测试
24 pins 用于压电运动控制
2 pcs A-type 模块 (预留)
3 pcs B-type 模块 (预留)

– 温度计 & 加热器

1 Cernox + 50 W 加热器

1 Cernox + 50 W 加热器

– 其他

样品腔 3 — 4K 冷环区域的电学接口 & 功能配件

多场科技为ColdTABLE提供了多种电学接口选项:默认配置的直流电学线路主要用于温度、压电运动控制,除此之外,ColdTBALE 还预留了射频、低频同轴以及直流等电学接口。

➡ 4K冷环区域电学接口布局 (功能区)

1. ColdTABLE 为电学接口提供了两种通用尺寸的安装转接板

2. 未使用区域可使用空白的安装转接板代替,以便后续使用过程中的升级

3. 在4K环形区域预留安装位置,见右图 (用空白板覆盖)

Standard

.Max

➡ 电学接口 & 功能配件 安装转板接板清单

❖ “A – Type” 电学接口安装转接板

RF 模块 – 类型 (A-Type)
PN:AB1203

– 4 X 2.92mm 接口用于高频测试 (40 GHz)

❖ “B – Type” 电学接口安装转接板

PN:AB1204

▉ DC 模块 (B-Type) — 24 路线路

– 6组 2 mm间距插针组
– 1 x 4规格 2 mm插针组

PN:AB1205

▉ 温度模块 (B-Type)

可用于两路温度控制 & 1路温度监测
– 1 x 6 规格插针组用于温度控制,2 组
– 1 x 4 规格插针组用于温度监测, 1 组

PN:AB1206

▉ 压电运动模块 (B-Type)

可用于驱动三组压电位移台和2组压电扫描台
– 1 x 5规格插针组用于压电位移台,3 组
– 1 x 2规格插针组用于压电扫描台,2 组

PN:AB1207

▉ COAX 模块 (B-Type)

4 SMP 接口用于低噪音电学测试
-3.5 dB @ 1 GHz

❖ 功能配件

碳吸附泵
用于残余气体吸附,确保样品腔的真空

光纤固定夹具
最多可固定4根低温光纤

·选件

选件 1.1 — 低温物镜, “ Huygens” 系列, 性能指标

多种可在低温长期稳定工作的物件供用户选择

名称型号 ➠

Huygens-0.9

Huygens-0.6

Huygens-0.36

1

数值孔径 (NA)

0.90

0.60

0.36

2

工作距离

1.0 mm

6.0 mm

13.0 mm

3

AR 镀层
(>85% 透射率)

430 - 800 nm

430 - 1050 nm

400 - 1600 nm

4

消色差范围*
(df < +/- Δ)

460 - 590 nm

470 - 670 nm

430 - 1350 nm

5

适用环境

4 -350 K, non-magnetic structure and high vacuum compatible (ultra-high vacuum on request)

6

光圈直径

Φ 4.30 mm

Φ 4.64 mm

Φ 4.64 mm

7

焦距

2.67 mm

3.87 mm

6.47 mm

8

质量

50 g

72 g

55 g

9

直径

20 mm

22 mm

21.5 mm

10

长度

59.5 mm

71 mm

64 mm

11

螺纹

RMS0.5

*df, chromatic focal shift, Δ = n*λref / (2*NA^2)

选件 1.2 — 低温物镜, “ Huygens” 系列, 数据结果

“Huygens”系列物镜专门为低温强磁场工作环境而设计,并具有尽可能宽的复消色差波长范围。数值孔径包括了0.36、0.60和0.90,相应的工作距离为1.0 mm,6.0 mm和13.0 mm,从而满足不同的研究需求。

通过使用高数值孔径N.A.~ 0.90的低温物镜,用户可以提高实验空间分辨率和光子收集效率;另一方面,超长工作距离的低温物镜可满足高压金刚石砧(DAC)的实验需求,实现GPa高压下的拉曼和荧光测试。

➡ “Huygens”系列 — 焦移 & Strehl比率仿真结果

焦移: 不同波长下焦面相对参考波长λref. 焦面的移动距离 Δ = n*λref / (2*N.A.^2): 景深.
Strehl Ratio: 相对理想透镜,不同波长下峰值强度。

Huygens-0.9低温物镜的尺寸图

Huygens-0.6 低温物镜的尺寸图

Huygens-0.36低温物镜的尺寸图

选件 2.1 — 压电运行模组, 产品系列

多场科技可提供完整的低温压电运动解决方案,涵盖所有运动模块,如具有长行程范围的线性、旋转和倾斜的位移台,以及满足高分辨率和小范围动态运动需求的扫描台。

压电运动模块是多场科技的一个独立产品线,更多详细信息见低温压电运动

选件 2.2 — 压电运动模组. II, 推荐选型

适用于ColdTABLE压电运动模组的推荐组合。

➡ 默认型号

标准低温压电运动解决方案,6mm x 6mm x 6mm运动范围,带闭环控制。

➡ 长行程型号

长行程低温压电运动解决方案,XY平面 20mm x 20mm行程,Z方向6mm行程。

➡ 大负载型号

用户可使用该组合来进行高压实验,因为金刚石对顶砧自身非常重。

1. 组合构成
– Linear25-x, 2 pcs, 位移台
– Linear25-z, 1 pcs, 位移台
– Scanner25-xy, 1pc, 扫描台

2. 运动控制器
– 位移台控制器, NewtonLT.06, 6路控制输出
– 扫描台控制器, ArchimedesLT.03, 3路控制输出

3. 关键指标
– 250 g, 净负载能力
– 6mm x 6mm x 6mm, 行程范围
– 45 mm 高度
– 17 pins 直流线路需求

1. 组合构成
– Linear35-x, 2 pcs, 位移台
– Linear25-z, 1 pcs, 位移台
– Scanner25-xy, 1pc, 扫描台

2. 运动控制器
– 位移台控制器, NewtonLT.06, 6路控制输出
– 扫描台控制器, ArchimedesLT.03, 3路控制输出

3. 关键指标
– 250 g, 净负载能力
– 20mm x 20mm x 6mm, 行程范围
– 45 mm 高度
– 17 pins 直流线路需求

1. 组合构成
– Linear35-x, 2 pcs, 位移台
– Linear35-z, 1 pcs, 位移台

2. 运动控制器
– 位移台控制器, NewtonLT.06, 6路控制输出

3. 关键指标
– 450 g, 净负载能力
– 20mm x 20mm x 10mm, 行程范围
– 45 mm 高度
– 17 pins 直流线路需求

➡ 柔性导热连接

为了结构刚性和减轻重量,我们选择了钛来替代高导热铜作为运动模块的主框架。因此,在真空环境中,我们无法将4K冷板的温度有效地传递给样品。为解决该问题,我们使用高导热的无氧铜柔性导热部件,以确保样品运动不会受到影响,同时可以将样品温度与系统冷板温度尽可能保持一致。

·详细参数

将低温低振动技术与纳米运动、低温物镜及其他技术相结合,为低温光学实验提供全面的解决方案。

ColdTABLE 系统, 详细参数

一般指标

1

冷却方式

闭循环GM 制冷机

2

减震技术

被动减震:气浮隔振 & 多种阻尼减震

3

样品环境

真空环境

4

最低温区域

Dia 100 mm & Dia 200 mm

5

样品安装区域

M3 螺孔, 10 mm x 10 mm 矩阵分布

6

加热器 & 低温温度计

1支温度计+ 1 支加热器,用于系统温度控制和监测
 1支预留低温温度计,用于样品温度监测

7

光学窗口

1 个顶部窗口 + 8 个侧面窗口

8

控制操作界面

自动化控制软件,提供LabVIEW & Python 驱动程序

核心指标

9

温度范围

4.5 K - 350 K

10

降温时间

< 180 mins

11

温度稳定性

2 mK @ 4.5 K, 20 mK @ 300 K

12

制冷功率

30 mW @ 5.0 K

13

振动幅度

< 5 nm pk-pk @ 3-axis, 最低温

14

极限真空

1E-8 mBar

电学 & 光学接口

15

电学接口

24DC 线路,预留给用户 + 24DC 线路,用于压电运动控制

16

射频接口

4 x 2.92 mm气密接头,最高可达 40 GHz

17

光纤接口

4 个单模光纤的气密接头

18

预留低温转接板数量

2 pcs

选件

19

低温运动模组

25 mm & 35 mm 系列低温压电位移台和扫描台

20

低温物镜

N.A. ~0.36, 0.6 & 0.9 低温无磁物镜

闭循环制冷机

21

耗电功率

1.5 kW @ 220 V

22

冷却方式

风冷

系统尺寸 & 质量

23

外型尺寸 (W x L x H)

800 mm x 1000 mm x 800 mm @ 光学平台
405 mm x 450 mm x 610 mm @ 压缩机

24

系统质量

150 kg @ 光学平台
75 kg @ 压缩机

可选升级

25

显微镜

共聚焦显微镜

·系统组件

氦气制冷压缩机

涡旋真空干泵

温度控制器

气浮隔离系统

光学平台