技术参数
选择更适合的那款
Carrier.L7550s.XY
平面 XY 方向运动
Carrier.L1010s.XY
平面 XY 方向运动
➨ 版本定位
标准版本
大气环境
✔
✔
.HV, 高真空版本
优于 2E-7 mbar
✔
✔
.UHV, 超高真空版本
优于 2E-11 mbar
✔
✔
.NM, 完全无磁版本
完全无磁
✔
✔
.HV.NM, 高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 高真空
✔
✔
.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本
完全无磁 & 超高真空
✔
✔
.E, 经济版本
大气环境
➨ 基础信息
1外形尺寸
零点位置
满行程运动
140 mm × 125 mm × 28 mm
215 mm × 150 mm × 28 mm
185 mm × 185 mm × 28 mm
285 mm × 285 mm × 28 mm
2主体材料
标准版本
.HV 版本
.UHV 版本
.NM 版本
铝合金 / 不锈钢; 1.5 kg
铝合金 / 不锈钢; 1.5 kg
铝合金 / 不锈钢; 1.5 kg
纯 Ti, 陶瓷;
铝合金, 不锈钢/陶瓷; 2 kg
铝合金, 不锈钢/陶瓷; 2 kg
铝合金, 不锈钢/陶瓷; 2 kg
纯 Ti, 陶瓷;
3运动行程
75 mm × 25 mm
100 mm × 100 mm
➨ 技术参数
4速度范围
默认
.HV & .UHV 版本
0.1 μm/s ~ 10 mm/s
0.1 μm/s ~ 1 mm/s
5运动方向最大推力
2 N
6保持力
4 N
7最大负载
水平方向使用
4 kg
8最小步伐 (闭环)
10 nm
9全程俯仰/偏摆
0.3 mrad
10位置传感器
分辨率
种类
2 nm
光学位置传感器
➨ 安装 & 使用
11可用孔位
Carrier.L7550s.XY
台面·定位销
/
底座·定位销
/
Carrier.L1010s.XY
台面·定位销
/
底座·定位销
4 pcs – Φ 4.0
125 mm × 125 mm
Carrier.L1010s.XY
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M3 × 6.5
25 mm × 100 mm
4 pcs – M3 × 6.5
50 mm × 100 mm
4 pcs – M6 × 6.5
75 mm × 100 mm
底座·安装孔
4 pcs – Φ 6.6
125 mm × 75 mm
4 pcs – M6 × 10
125 mm × 50 mm
Carrier.L1010s.XY
台面·用户螺纹孔
4 pcs – M6 × 6.5
25 mm × 150 mm
4 pcs – M6 × 6.5
75 mm × 150 mm
4 pcs – M6 × 6.5
125 mm × 150 mm
底座·安装孔
6 pcs – Φ 6.6
150 mm × 100 mm
4 pcs – M6 × 10
150 mm × 50 mm
12线缆 & 接头
默认
.UHV 版本
屏蔽线缆,
D-Sub15
Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)
13控制器规格
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