Indus系列·水平运动台系列

超精密运动 / 运动单元·长行程 – Indus 系列

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技术参数

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技术参数

选择更适合的那款

行程
50, 100 & 150 mm

行程
200 mm 或更大

L050.Indus

水平运动

L100.Indus

水平运动

L150.Indus

水平运动

➨ 版本定位

标准版本

大气环境

✔

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

✔

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

✔

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

✔

.HV.NM, 高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 高真空

✔

.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 超高真空

✔

.E, 经济版本

大气环境

✔

➨ 基础信息

1外形尺寸
(宽度 × 长度 × 高度)

零点位置状态

90 × 24 × 14
( mm × mm × mm )

180 × 24 × 14
( mm × mm × mm )

250 × 36 × 16.5
( mm × mm × mm )

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

经济版本 .E

铝合金, 钢; 174 g

纯 Ti, 陶瓷; 160 g

铝合金, 钢; 174 g

铝合金, 钢; 388 g

纯 Ti, 陶瓷; 270 g

铝合金, 钢; 388 g

铝合金, 钢; 840 g

纯 Ti, 陶瓷; 640 g

铝合金, 钢; 840 g

3运动行程

50 mm

100 mm

150 mm

4安装空间
(宽度 × 长度 × 高度)

满足全行程运动

140 × 24 × 14
( mm × mm × mm )

280 × 24 × 14
( mm × mm × mm )

400 × 36 × 16.5
( mm × mm × mm )

➨ 技术参数

5速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

0.1 μm/s ~ 10 mm/s

0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6运动方向最大推力

2 N

7保持力

3 N

8最大负载
(底座水平放置)

水平方向使用

1 kg

2 kg

4 kg

9双向重复定位精度

默认

经济版本.E

± 150 nm

± 300 nm

10全行程俯仰/偏摆

0.2 mrad

11最小步伐（闭环）

默认

经济版本.E

5 nm

100 nm

12位置传感器

种类

分辨率

光学位置传感器

其他版本

默认: 2 nm
可选配: 0.5 nm

经济版本.E

50 nm

➨ 安装 & 使用

13可用孔位

L050.Indus

台面·定位销

5 pcs – Φ 3.0
15 mm – 5

底面·定位销

2 pcs – Φ 3.0
63 mm – 2

L100.Indus

台面·定位销

11 pcs – Φ 3.0
15 mm – 11

底座·定位销

2 pcs – Φ 3.42 pcs – Φ 3.4
75 mm – 2125 mm – 2

4 pcs – Φ 3.0
158 mm × 15 mm

L150.Indus

台面·定位销

9 pcs – Φ 4.0
29 mm – 9

底面·定位销

2 pcs – Φ 5.0
150 mm – 2

4 pcs – Φ 4.0
214 mm × 25 mm

L050.Indus

台面·用户螺纹孔

6 pcs – M3 × 5
15 mm – 6

底面·安装孔

2 pcs – Φ 4.3
75 mm – 2

4 pcs – M3 × 4
80 mm × 15 mm

L100.Indus

台面·用户螺纹孔

12 pcs – M3 × 5
15 mm – 12

底座·安装孔

2 pcs – Φ 4.5
100 mm – 2

2 pcs – Φ 3.4
158 mm – 2

L150.Indus

台面·用户螺纹孔

10 pcs – M4 × 7
25 mm – 10

底面·安装孔

4 pcs – Φ 4.5
175 mm – 2

2 pcs – Φ 3.4
214 mm – 2

14线缆 & 接头

其他版本

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

15控制器规格

MC-Newton.S系列

行程
50, 100 & 150 mm

行程
200 mm 或更大

LS200.Indus

水平运动

➨ 版本定位

标准版本

大气环境

✔

.HV, 高真空版本

优于 2E-7 mbar

✔

.UHV, 超高真空版本

优于 2E-11 mbar

✔

.NM, 完全无磁版本

完全无磁

✔

.HV.NM, 高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 高真空

✔

.UHV.NM, 超高真空&完全无磁版本

完全无磁 & 超高真空

✔

.E, 经济版本

大气环境

✔

➨ 基础信息

1外形尺寸
(宽度 × 长度 × 高度)

2主体材料

标准版本

.HV 版本

.UHV 版本

.NM 版本

经济版本 .E

铝合金, 钢; 1 kg

纯 Ti, 陶瓷; /

铝合金, 钢; 1 kg

3运动行程

200 mm

➨ 技术参数

4速度范围

默认

.HV & .UHV 版本

0.1 μm/s ~ 10 mm/s

0.1 μm/s ~ 1 mm/s

5运动方向最大推力

3 N

6保持力

5 N

7最大负载

水平方向使用

2 kg

8双向重复定位精度

默认

经济版本.E

± 100 nm

± 300 nm

9全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

10最小步伐（闭环）

默认

经济版本.E

5 nm

100 nm

11位置传感器

种类

分辨率

光学位置传感器

其他版本

默认: 2 nm
可选配: 0.5 nm

经济版本.E

50 nm

➨ 安装 & 使用

11可用孔位

LS200.Indus

台面·定位销

4 pcs – Φ 3.0
45 mm × 50 mm

4 pcs – Φ 3.0
50 mm × 45 mm

底座·定位销

4 pcs – Φ 3.0
50 mm × 45 mm

4 pcs – Φ 3.0
240 mm × 25 mm

LS200.Indus

台面·用户螺纹孔

4 pcs – M3 × 5
50 mm × 25 mm

4 pcs – M3 × 5
25 mm × 50 mm

底座·安装孔

4 pcs – Φ 3.4
50 mm × 25 mm

4 pcs – Φ 3.4
240 mm × 25 mm

14线缆 & 接头

其他版本

.UHV 版本

屏蔽线缆,
D-Sub15

Kapton 漆包线,
D-Sub15 (PEEK)

15控制器规格

MC-Newton.S系列

产品资料

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产品声明

2D / 3D 文件

L050.Indus

.STEP

2025 / 05 / 13

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L100.Indus

.STEP

2024 / 06 / 12

下载

L150.Indus

.STEP

2024 / 11 / 06

下载

LS200.Indus

.STEP

2024 / 06 / 04

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规格参数

Indus 系列产品手册

.pdf

室温压电运动系列手册

.pdf

2025 / 03 / 09

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