超精密运动 / 运动单元·长行程 – Lab 系列

简介

水平运动

垂直运动

旋转运动

摇摆运动

Lab 系列

为全面运动而生

空间六自由度完全覆盖，完整产品矩阵

35 mm 系列

外形尺寸

(35 mm × 35 mm × 厚度)

65 mm 系列

外形尺寸

(65 mm × 65 mm × 厚度)

同系列运动台之间无需转接板直接互连

图中 35 mm 系列运动台自上而下依次为：RS35.Lab, GS35-35.Lab, GS35-55.Lab, LS35z.Lab & LS35x.Lab; 图中 65 mm 系列运动台自上而下依次为：RS65.Lab, GS65-77.Lab,GS65-97.Lab, LS65z.Lab & LS65x.Lab.

Lab 系列·完全静音运动

线性运动· 水平方向

LS35x.Lab

LS65x.Lab

LS105x.Lab

• 光栅尺闭环控制，5 nm 最小步伐 (1 nm 可选)
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选
• 优于 100 nm 重复定位精度
• 支持模拟信号运动控制，Trigger in & Trigger out
• 支持多种通讯接口

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Lab 系列·完全静音运动

线性运动· 垂直方向

LS35z.Lab

LS65z.Lab

LS80z.Lab

• 光栅尺闭环控制，5 nm 最小步伐 (1 nm 可选)
• 优于 150 nm 重复定位精度
• 1000 g 级别重量负载
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选

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Lab 系列·完全静音运动

旋转运动

Lab 系列·完全静音运动

摇摆运动

RS35.Lab

RS65.Lab

GS35.Lab

GS65.Lab

• 光栅尺闭环控制，360 ° 连续旋转
• 配备通光孔径
• 1 μrad 级别最小步伐
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选

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• 1000 g 级别大负载
• 光栅尺闭环控制，1 μrad 级别最小步伐
• 完全无磁，超高真空等特殊版本可选

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