纳米自动化 / 超精密运动 / 扫描台Carrier.S系列
通孔型·三轴XYZ扫描运动 Carrier.S100/200/300.XYZ.C
➡ 高速扫描运动,电容闭环传感,超高运动分辨率
可选版本 ⇨
Carrrier.S100.XYZ.C
Carrrier.S200.XYZ.C
Carrrier.S300.XYZ.C
特殊版本可选 ⇨
.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;
基本信息
Motion Direction 运动方向
X, Y, Z 方向
Size 底面尺寸*高度
150 mm × 150 mm × 30 mm
Main Material 主体材料
铝合金 / 不锈钢
Travel Range 运动行程
X – 100 μm,
Y – 100 μm,
Z – 100 μm
X – 200 μm,
Y – 200 μm,
Z – 200 μm
X – 300 μm,
Y – 300 μm,
Z – 300 μm
Hollow Through Hole 中空透孔
66 mm × 66 mm
运动 & 位置传感
Linear Error 线性度误差
XYZ, 0.03 %
Motion Resolution 运动分辨率 (闭环/开环)
1 nm / 0.3 nm
1.5 nm / 0.4 nm
2 nm / 0.5 nm
Repeatability 运动可重复精度
10 nm
10 nm
10 nm
Z-motion-XY Offset Z向运动-XY偏移
± 30 nm
± 50 nm
Resonance Frequency (No-load) 共振频率 (空载)
X, Y: 180 Hz;
Z: 390 Hz
X, Y: 155 Hz;
Z: 320 Hz
X, Y: 135 Hz;
Z: 250 Hz
Resonance Frequency (350 g) 共振频率 (350 g)
X, Y: 150 Hz;
Z: 250 Hz
X, Y: 120 Hz;
Z: 200 Hz
X, Y: 90 Hz;
Z: 140 Hz
Max. Load 最大负载
5 kg
3 kg
Encoder Type 闭环传感器(闭环版本)
电容式
Max Operating Voltage 驱动电压
Max. 150 V
其他信息
Recommended Operation Temperature 推荐使用温度
15 ~ 40 °C
Weight 重量
1 kg
Drawings 尺寸图