通孔型·单轴Z向扫描运动 Carrier.S100/200.Z.C

高负载·高速Z方向运动,大通孔设计,并联设计+电容闭环传感

• Z 扫描运动 100/200 um;

• 闭环分辨率优于 1 nm;

• 最大负载 5 kg;

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案;

• 支持无磁 (.NM), 高真空(.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.S100.Z.C

Carrier.S200.Z.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 方向

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um

200 um

Hollow Through Hole 中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 位置传感

线性度误差(z方向运动)

0.035%

Pitch 俯仰

50 urad

±50 urad

Yaw 偏摆

50 urad

±50 urad

Rotation 旋转

10 urad

±10 urad

Motion Resolution 运动分辨率(闭环/开环)

1 nm / 0.3 nm

Repeatability 运动可重复精度

10 nm

Rigidity 刚性

2.5 N/ um

1.7 N/ um

Resonance Frequency 共振频率(空载/2.5 kg)

500 Hz/ 200 Hz

350 Hz/ 120 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器(闭环版本)

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Drawings 尺寸图