紧凑型·扫描台 (闭环)

S 系列

均衡的选择, Standard 系列

支持电容式位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

X 方向运动

Z 方向运动

S300.x.C

X 方向水平运动，300 um长行程运动

详情->

外形尺寸· 50 mm × 50 mm × 17 mm

行程· 300 um

S100.z.C

Z 方向垂直运动，超薄高准直设计

详情->

外形尺寸· 40 mm × 40 mm × 18 mm

行程· 100 um

X Y 方向运动        X Y Z 方向运动

S100.xy.C

S100.xyz.C

兼多维度运动，0.3 nm 空间分辨

详情->

外形尺寸· 55 mm × 55 mm × 40 mm

行程· 100 um