线性台·闭环

·有25mm, 35mm & 65mm 三个外形尺寸可选择

·电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·控制器和旋转台、摇摆台通用

压电载物台 (Carrier.xxxx.2D)

·大行程·高精度·重负载

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

扫描台·闭环

扫描台·闭环 (S50x.C)

·z方向垂直最大负载1 kg

·单轴x⽅向⾏程50 um

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感

显微镜·载物台·闭环 (S200xyz.C)

·200um · 200um · 200um 超大行程

·针对光学显微镜的定制化解决方案

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级