位移台·闭环·Lab系列

• 有25mm, 35mm & 65mm 三个外形尺寸可选择

• 电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和旋转台、摇摆台通用

旋转台·闭环
RSxx.Lab.X

• 有35mm & 65mm 两个外形尺寸可选择

• 电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和线性台、摇摆台通用

摇摆台·闭环
GS65.Lab.X

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• 65mm标准尺⼨

• 电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和线性台、旋转台通用

位移台·闭环·Indus系列

线性台·闭环
LSXXX.Indus

• 30, 60, 100, 120, 150 & 180 mm 行程可选

• 纳米级位置传感(.O), 1 nm / 10 nm可选

• 高负载、支持多种拼接案例

• 支持超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台,旋转台和摇摆台通用

扫描台·闭环·Lab系列

3自由度·扫描台·闭环
S100.Lab.XY / XYZ

• 闭环精度优于1 nm

• 外形尺寸 40 × 40 × 31 mm

• 单轴x⽅向⾏程150 um

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

• 支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感

⾼负载·扫描台·闭环
S50.Lab.X.HL

• z方向垂直最大负载1 kg

• 单轴x⽅向⾏程50 um

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

• 支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感

显微成像·闭环·Carrier系列

载物台·位移 ( 闭环 )
Carrier.L7550.XY

• 线性行程覆盖 75mm × 50mm

• 光学定位精度10 nm

• 最大负载支持2.5 kg

• ⽀持标准显微镜载物台安装接⼝

• ⽀持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

载物台·扫描 ( 闭环 )
Carrier.S200.XY

• 扫描⾏程 200um × 200um

• 闭环定位精度,优于1 nm

• 最大负载 500 g

• 针对光学显微镜的定制化解决⽅案

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

物镜⾃动对焦·扫描 ( 闭环 )
Carrier.S100-OB.Z

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• 线性⾏程覆盖 100 um

• 最大负载 500 g

• ⽀持标准显微镜载物台安装接口

• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级