概览      参数       下载

一样的运动核心,不一样的位置传感

 标准版

图片产品:LS35x.Lab.O

➡完全静音·纳米级高精度运动平台;

真正的纳米精度位移台:步进运动和超精细·位置实时调节的深度融合;

LSxx.Lab.O 系列产品,纳米级位置传感

 经济版

图片产品:LS35x.Lab.R

➡拒绝开环,⾼精度运动都需要反馈控制;

开环的价格,闭环的品质:多场·经济型压电位移台

LSxx.Lab.R 系列产品,经济型位置传感

不⼀样的昂贵材料,⼀样的动力十足

– 完全无磁材料构成,保证30 Tesla 磁场可用 .NM
– 超高真空兼容材料构成,保证 5E-11 mbar 兼容 .UHV

 特殊版本
完全无磁(.NM)版本 、 超高真空(.UHV)版本

图片产品:LS35x.Lab.O.NM / .UHV

➡高端版本:完全无磁 & 超高真空—可单选·可兼得;

步进运动和超精细运动调节的深度融合,真正的纳米精度位移台;

LSxx.Lab.O (.R ).NM 系列产品
LSxx.Lab.O (.R ).UHV 系列产品
LSxx.Lab.O (.R ).NM.UHV 系列产品

LSxx.Lab 系列·线性位移台

LS25x.Lab

最紧凑的闭环位移台,仅8mm厚度

尺⼨· 25mm × 25mm × 8mm

行程·8 mm

LS35x.Lab

兼顾尺⼨和性能的选择

尺⼨· 35mm × 35mm × 12mm

行程·20 mm

LS65x.Lab

⼿动·光学位移台的完美替代

尺⼨· 65mm × 65mm × 12mm

行程·30 mm

LS35z.Lab

z方向1 kg, 能负重&能远行

尺⼨· 35mm × 35mm × 32mm

行程·10 mm

• 超安静运动,20 kHz驱动频率;

• 极紧凑外形设计,分为25mm,35mm和 65mm 三类;

• 闭环控制·位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O);

• 高精度·空间传感分辨率(.O) 1 nm、10 nm可选;

• 经济型·空间传感分辨率(.R) 100 nm;

• 最小步伐优于 10 nm;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容旋转台,摇摆台;

• 支持无磁(.NM)和超高真空(.UHV)选件;

LS25x.Lab

LS35x.Lab

LS65x.Lab

LS35z.Lab

Travel Range 行程

8 mm

20 mm

30 mm

10 mm

Options 升级选项

扩展可选:.NM ~ 完全无磁; .UHV ~ 超高真空兼容

Materials 材料

主体:S304

Encoder Type 位置传感种类

电阻型传感 (.R)

电阻型传感 (.R) & 光学传感 (.O)

Encoder resolution 位置传感分辨率

.R ~100 nm / .O~10 nm(默认版本)/ .O~1nm(高端版本)

空间推荐安装形式(下列性质均在推荐安装形式下测得)

安装姿态: 1.保持位移台最大平面水平;2.保持内侧滑轨安装平面朝上;

Motion Direction 运动方向

x 轴 ~ 水平方向

Step Size 最小位移

min. below 10 nm

Maximum Step Frequency 最大驱动频率

20 kHz

Speed 运动速度

1 mm/s ~ 20 mm/s

Max. Load 最大垂直负载

5 kg

1 kg

Dynamic Force 最大水平推力

2 N

Holding Force 保持力

5 N

Pitch / Yaw Over Travel Range 全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

其他安装形式(可以但不推荐这样使用,建议采购多场针对性产品)

不推荐其他使用方式

Max. Load 最大垂直负载

2 N

Holding Force 保持力

5 N

Max Operating Voltage 驱动电压

10 V ~ 120 V

其他

Capacitance 电容

180 nF

Operating temperature 适用温度

默认最高温度40 ℃,超高真空选项支持120 ℃

Cable Length 线缆长度

1 m

Size 产品尺寸

25 mm × 25 mm × 8 mm

35 mm × 35 mm × 12 mm

65 mm × 65 mm × 12 mm

35 mm × 35 mm × 32 mm

电阻型传感 (.R) Drawings 尺寸图

光学传感 (.O) Drawings 尺寸图

Controller 控制器