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.indus 系列—极简工业风的运动模块
多自由度·纳米级运动也可以搭积木

可选版本 ⇨

L030.indus

L040.indus

L060.indus

L080.indus

L100.indus

L120.indus

L150.indus

L180.indus

.NM, 绝对无磁版本;
.UHV,超高真空版本;

Size 产品尺寸

Main Material 主体材料

不锈钢

Cables & Connectors
线缆 & 接头

运动参数-空间推荐安装形式 I.(下列性质均在推荐安装形式下测得)

Travel Range 运动行程

30 mm

40 mm

60 mm

80 mm

100 mm

120 mm

150 mm

180 mm

Max. Speed 最大速度

~ 20 mm/s

Step Size 最小步伐

~ 10 nm

Step Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

Dynamic Force 最大水平推力

3 N

Holding Force 保持力

5 N

Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad / 0.2 mrad

运动参数-空间推荐安装形式 II.(下列性质均在推荐安装形式下测得)

Max. Load 最大垂直负载

2 N

Holding Force 保持力

5 N

传感精度

Encoder Type 位置传感类型

– 电阻型传感( .R )| – 光栅尺传感(.O )

Encoder Range 位置传感行程

30 mm

40 mm

60 mm

80 mm

100 mm

120 mm

150 mm

180 mm

Encoder Resolution 位置传感分辨率

– 电阻型传感( .R ),100-200 nm | – 光栅尺传感(.O ),10 nm,1 nm可选(默认10 nm)