多场科技 — 压电运动·室温 / S100.Lab.XY / XYZ

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压电·二维/三维扫描运动 S100.Lab.XY / XYZ

➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 二维度XY 扫描运动 100 um × 100 um；

• 三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um；

• 外形尺寸， 40 mm × 40 mm × 31 mm；

• 闭环定位精度优于 1 nm；

• 最大负载 500 g；

• ⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

正常版本

.NM， 绝对无磁版本；
.UHV，超高真空版本；

基本信息

Motion Direction 运动方向

S100.Lab.XY: X, Y,  方向

S100.Lab.XYZ: X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

40 mm × 40 mm × 31 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

S100.Lab.XY: 100 um × 100 um

S100.Lab.XYZ: 100 um × 100 um × 100 um

运动 & 定位

Motion Resolution

0.2 nm

Repeatability 运动可重复精度

15 nm

Linear Error 线性误差

优于 0.1%

Resonance Frequency (50g Load)
共振频率 (50g 负载)

X, Y: 300 Hz
Z: 250 Hz

Rigidity 刚性

0.5 N/um

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器

电容式

Capacitance Accuracy 电容精度

0.3 nm

Piezo Capacity (X, Y) 压电电容 (X, Y)

Max. 120 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

200 g

Cable Length 线缆长度

1.5 m / micro-Sub 接头