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压电·三轴扫描运动 S150.Lab.XYZ

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 三维度XYZ 扫描运动 150 um × 150 um × 150 um;

• 外形尺寸, 55 mm × 55 mm × 42 mm;

•闭环定位精度优于 1 nm;

• 最大负载 500 g;

• ⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

正常版本

.NM, 绝对无磁版本;
.UHV,超高真空版本;

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

55 mm × 55 mm × 42 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

150 um × 150 um × 150 um

运动 & 定位

Motion Resolution

0.2 nm

Repeatability 运动可重复精度

15 nm

Linear Error 线性误差

优于 0.1%

Resonance Frequency (50g Load)
共振频率 (50g 负载)

220 Hz

Rigidity 刚性

0.5 N/um

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器

电容式

Capacitance Accuracy 电容精度

0.3 nm

Piezo Capacity (X, Y) 压电电容 (X, Y)

Max. 120 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

200 g

Cable Length 线缆长度

1.5 m / micro-Sub 接头