多场科技压电运动·室温 / Carrier·S200·XY / XYZ

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压电载物台·闭环 Carrier.S200.XY / XYZ

针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案

• 两维度XY 扫描运动 200 um × 200 um;

• 三维度XY 扫描运动 200 um × 200 um × 200 um;

• 闭环定位精度优于 1nm;

• 最大负载 500 g;

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决⽅案;

• ⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

Carrier·S200·XY / XYZ

备注

Travel Range 行程

S200.XY: 200 um × 200 um

S200.XYZ: 200 um × 200 um× 200 um

Sensor Type 传感器类型

电容式

Sensor Resolution 传感器分辨率

优于1 nm

Capacitance Accuracy 电容精度

0.3 nm

Weight 重量

1 kg

Hollow Through Hole 中空透孔

80 mm × 60 mm

Footprint; Height 尺寸;高度

180 mm × 150 mm;20 mm

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY

Recommended Operating Temperature
推荐工作温度

15 – 40 °C

 Main Materials 主体材料

铝合金

Load Capacitance 最大负载

500 g