压电载物台·闭环 Carrier.S200.XY / XYZ
➡ 针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案
Carrier·S200·XY / XYZ
备注
Travel Range 行程
S200.XY: 200 um × 200 um
S200.XYZ: 200 um × 200 um× 200 um
Sensor Type 传感器类型
电容式
Sensor Resolution 传感器分辨率
优于1 nm
Capacitance Accuracy 电容精度
0.3 nm
Weight 重量
1 kg
Hollow Through Hole 中空透孔
80 mm × 60 mm
Footprint; Height 尺寸;高度
180 mm × 150 mm;20 mm
Install 安装
螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY
Recommended Operating Temperature
推荐工作温度
15 – 40 °C
Main Materials 主体材料
铝合金
Load Capacitance 最大负载
500 g