多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier.OB.系列

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物镜型·扫描台 (闭环)

Carrier.OB 系列

均衡的选择, Standard 系列

支持电容(.C) 位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

Z 方向运动

Z 方向运动

Carrier.OB50.C

50 um Z 方向行程，高速响应

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外形尺⼨· 63.5 mm × 46 mm × 26 mm

行程· 50 um

Carrier.OB100.C

100 um Z 方向行程，15 ms 以内稳定

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外形尺⼨· 63.5 mm × 46 mm × 26 mm

行程· 100 um

Z 方向运动

Carrier.OBHL100.C

2 kg 超强负载，10 ms 以内稳定

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外形尺⼨· 68 mm × 68 mm × 19 mm

行程· 100 um