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多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier.OB.系列
物镜型·扫描台 (闭环)
Carrier.OB 系列
均衡的选择, Standard 系列
支持电容(.C) & 电阻(.S ) 位置传感;最高分辨率达到0.2 nm;支持超高真空(.UHV)选件升级
Z 方向运动
Carrier.OB50.C
50 um Z 方向行程,高速响应
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外形尺⼨· 63.5 mm × 46 mm × 26 mm
行程· 50 um
Carrier.OB100.C
100 um Z 方向行程,10 ms 以内稳定
行程· 100 um
1 kg 超强负载,10 ms 以内稳定
外形尺⼨· 68 mm × 68 mm × 19 mm