压电·线性位移台-水平台 LS65x.Lab
➡ 一样的运动核心,不一样的位置传感
可选版本 ⇨
LS65x.Lab
LS65x.Lab.E
特殊版本可选 ⇨
.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;
无
Size 底面尺寸*高度
65 × 65 mm × 13 mm
Main Materials 主体材料
标准版, .NM 铝合金
.HV, .UHV 纯钛
铝合金
Weight 质量
160 g
Travel Range 运动行程
30 mm
Driven Frequency 驱动频率
Max. 20 kHz(超安静运动)
Resolution (Open-loop) 开环分辨率
0.1 nm
Wires 线缆 & 接头
标准版/HV版本,屏蔽线缆 D-Sub15,
UHV版本, kapton漆包线,PEEK D-Sub15
Max. Speed 最大速度
~ 20 mm/s
Step Size (Close-loop) 闭环最小步伐
10 nm
Dynamic Force 最大水平推力
2 N
Holding Force 保持力
5 N
Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆
0.3 mrad
Max. Load 最大负载
2 kg
Max. Load 最大垂直负载
150 g
Holding Force 保持力
5 N
传感精度
Encoder Type 位置传感类型
光学位置传感器
Encoder Range 位置传感量程
30 mm
Encoder Resolution 位置传感分辨率
标准版本 – 2 nm;
.adv 版本 – 0.5 nm;
50 nm分辨率
Drawings 尺寸图