压电·大范围扫描运动 Carrier.OBHL100

针对显微物镜的大负载、高动态、长行程解决方案,用于显微成像、自动对焦等应用

• Z 方向运动范围 100 um;

• 最快稳定时间(90%位置稳定)10 ms 以内;

• 闭环分辨率优于 1 nm;

• 最大负载 2 kg;

• 控制器兼容多场科技 MC-Archimedes Series

• ⽀持无磁 (.NM) 、高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.OBHL100.C

Motion Direction 运动方向

Z 轴

Travel Range 运动行程

100 um

Upgrade options 升级选项

扩展可选:NM无磁版本;HV,高真空版本 ;UHV,超高真空版本;

线性度

0.02%

内置传感器

电容式传感

传感器噪音

1 nm

Z方向分辨率,开环

0.2 nm

稳定时间 (90%位置到达)

10 ms

Resonance Frequency共振频率(无负载)

900 Hz

Resonance Frequency共振频率(150 g 负载)

500 Hz

Weight 重量

500 g

Main Material 主体材料

不锈钢304,铝合金

Drawings 尺寸图