多场科技压电运动·室温 / Carrier.HS100.xy.C

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扫描运动·高负载通孔型 Carrier.HS100.xy.C

高负载·高速XY平面运动,大通孔设计,并联设计+电容闭环传感

• 两维度XY 扫描运动 100 um × 100 um;

• 闭环分辨率优于 1 nm;

• 最大负载3.5 kg;

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案;

• 支持无磁(.NM)和超高真空(.UHV)选件;

可选版本 ⇨

Carrrier.-HS100.xy.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y, 方向

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 40 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um × 100 um

Upgrade Options 升级选项

扩展可选:NM, 绝对无磁版本;UHV,超高真空版本;

Hollow Through Hole 中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 定位

线性度误差(z方向运动)

0.035%

Motion Resolution 运动分辨率

1nm / 0.2nm

Repeatability 运动可重复精度

± 10 nm

Rigidity 刚性

2 N/ um

Resonance Frequency 共振频率(空载/2.5 kg)

420 Hz/ 130 Hz

Max. Load 最大负载

3.5 kg

Encoder Type 闭环传感器(闭环版本)

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Drawings 尺寸图