位移台
-Lab

位移台
-Indus

扫描台
-S

载物台
-Carrier

六轴并联
-Free6D

位移台·闭环·Lab系列

·有25mm, 35mm & 65mm 三个外形尺寸可选择

·电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·控制器和旋转台、摇摆台通用

·有35mm & 65mm 两个外形尺寸可选择

·电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·控制器和线性台、摇摆台通用

摇摆台·闭环
GS65.Lab.X

·65mm标准尺⼨

·电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·控制器和线性台、旋转台通用

位移台·闭环·Indus系列

·30, 60, 100, 120, 150 & 180 mm 行程可选

·纳米级位置传感(.O), 1 nm / 10 nm可选

·高负载、支持多种拼接案例

·支持超高真空(.UHV)选件升级

·控制器和Lab系列线性台,旋转台和摇摆台通用

扫描台·闭环

紧凑型·扫描台(闭环)
S , SD & SH系列

·极紧凑设计,覆盖X,Z,XY & XYZ 运动方向

·运动行程覆盖100um到300um(可定制更大行程)

·全新设计保证高工作频率,极快响应

·支持电容(.C) & 电阻(.R) 位置传感

·最高分辨率达到0.2 nm

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

物镜型·扫描台(闭环)
Carrier.OB.系列

·Z方向单一运动方向,行程覆盖50, 100 & 400um

·快速运动稳定,10ms内完成

·支持高负载物镜选项;提供多种物镜转接接口

·支持第三方软、硬件控制,实现自动对焦

·支持电容(.C) & 电阻(.R) 位置传感

·最高分辨率达到0.2 nm

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

·X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持

·线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

·支持电容(.C) & 电阻(.R) 位置传感

·最高分辨率达到0.2 nm

·超快运动响应 & 长时间疲劳测试

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

载物台·闭环·Carrier系列

·线性行程覆盖 75mm × 50mm

·光学定位精度10 nm

·最大负载支持2.5 kg

·⽀持标准显微镜载物台安装接口

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

·旋转角度360度,连续旋转

·闭环定位精度 1 urad

·最大负载支持1 kg

·支持标准显微镜载物台安装接口

·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级