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线性台·闭环
线性台·闭环 (LSxx.Lab.R)
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·有25mm, 35mm & 65mm 三个外形尺寸可选择
·电阻型位置传感(.R),光学encoder位置传感(.O)可选
·支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
·控制器和旋转台、摇摆台通用
压电载物台 (Carrier.xxxx.2D)
·大行程·高精度·重负载
扫描台·闭环
扫描台·闭环 (S50x.C)
·z方向垂直最大负载1 kg
·单轴x⽅向⾏程50 um
·支持电容 (.C) 和电阻(.R) 闭环传感
显微镜·载物台·闭环 (S200xyz.C)
·200um · 200um · 200um 超大行程
·针对光学显微镜的定制化解决方案