Carrier

通孔·扫描台 (闭环)
Carrier.S 系列，标准型
XY & XYZ 运动，并联运动构型

支持电容(.C)位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；
支持超高真空(.UHV)选件升级

XY , 2维度运动 XYZ，3维度运动

Carrier.S200.xy.C；Carrier.S200.xyz.C

XY，XYZ方向运动，大行程 & 快速响应

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外形尺⼨· 182 mm × 150 mm × 15 mm
行程· 200 um x 200 um
行程· 200 um x 200 um x 200 um

通孔·扫描台 (闭环)
Carrier.HS 系列，重载型
XY & XYZ 运动，并联·水平运动构型

支持电容(.C)位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；
支持超高真空(.UHV)选件升级

XY , 2维度运动

XYRz，3维度运动

Carrier.HS100.xy.C

高负载XY方向运动，
保证面内线性运动

外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 30 mm
行程· 100 um

Carrier.HS100.xyRz.C

高负载XY方向运动，
增加Rz自动度调节

外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 30 mm
行程·100 um x 100 um x 1 mrad

通孔·扫描台 (闭环)
Carrier.HS 系列，重载型
Z & ZTxTy 运动，并联·垂直运动构型

支持电容(.C)位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；
支持超高真空(.UHV)选件升级

Z , 单维度运动

ZTxTy , 3维度运动

Carrier.HS100.z.C

高负载Z向运动，
高准直设计

外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 150 mm
行程· 100 um

Carrier.HS100.zTxTy.C

高负载Z向运动，
增加TxTy自由度调节

外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 30 mm
行程· 100 um x 1 mrad x 1 mrad