基本信息

Motion Direction 运动方向

Carrier.S200.XYZ: X, Y, 方向
Carrier.S200.XYZ: X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

182 mm × 150 mm × 15 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

Carrier.S200.XY: 200 um × 200 um
Carrier.S200.XYZ: 200 um × 200 um × 200 um

Upgrade Options 升级选项

扩展可选：NM， 绝对无磁版本；UHV，超高真空版本；

Hollow Through Hole 中空透孔

77 mm × 65 mm

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

2 nm

Repeatability 运动可重复精度

± 20 nm

Linear Error 线性误差

优于 0.1%

Resonance Frequency 共振频率

200Hz(X) 150Hz(Y)

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550

Drawings 尺寸图