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压电·二维/三维扫描运动 Carrier.R200

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 超安静运动,20 kHz驱动频率;

• 极紧凑外形设计,分为 35 mm 和 65 mm 两类;

• 闭环控制·位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O);

• 高精度·空间传感分辨率(.O) 0.75 urad;

• 经济型·空间传感分辨率(.R) 1 mrad;

• 最小步伐优于 10 nm;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容位移台,旋转台和摇摆台;

• 支持无磁(.NM)和超高真空(.UHV)选件;

可选版本 ⇨

Carrier.R200

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 轴旋转

Size 底面尺寸*高度

200 mm × 200 mm × 24 mm

Main Material 主体材料

铝合金

Travel Range 运动行程

300°

Upgrade options 升级选项

扩展可选:UHV,超高真空版本;

Hollow Through Hole 中空透孔

φ 190 / φ 60 mm

运动 & 定位

Move Mode 运动方式

连续运动

Resolution 光栅尺分辨率

1 urad

Driven Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz

Lock Torque 自锁力矩

20 N*mm

Driven Torque 驱动力矩

15 N*mm

Repeatability 运动可重复精度

300 µ° / 6 urad

Max. Load 最大负载

1 kg

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 120V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

2 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550

Drawings 尺寸图