一样的运动核心,不一样的位置传感

 标准版

图片产品:LS35x.Lab

➡完全静音·纳米级高精度运动平台;

真正的纳米精度位移台:步进运动和超精细·位置实时调节的深度融合;

LSxx.Lab 系列产品,纳米级位置传感

不⼀样的昂贵材料,⼀样的动力十足

– 完全无磁材料构成,保证30 Tesla 磁场可用 .NM
– 超高真空兼容材料构成,保证 5E-11 mbar 兼容 .UHV

 完全无磁(.NM)版本、高真空(.HV)、超高真空(.UHV)版本

图片产品:LS35x.Lab.NM / .UHV

➡高端版本:完全无磁 & 超高真空—可单选·可兼得;

步进运动和超精细运动调节的深度融合,真正的纳米精度位移台;

LSxx.Lab.NM 系列产品
LSxx.Lab.HV 系列产品
LSxx.Lab.UHV 系列产品
LSxx.Lab.NM.UHV 系列产品

LSxx.Lab 系列·线性位移台

LS35x.Lab

兼顾尺⼨和性能的选择

尺⼨· 35mm × 35mm × 12mm

行程·20 mm

LS65x.Lab

⼿动·光学位移台的完美替代

尺⼨· 65mm × 65mm × 13mm

行程·30 mm

LS35z.Lab

z方向500 g, 能负重&能远行

尺⼨· 35mm × 35mm × 33mm

行程·10 mm

LS65z.Lab/.LR

z方向500 g~ 1 kg, 直驱垂直运动,低厚度,省空间

尺⼨· 65mm × 65mm × 44mm
65mm × 65mm × 64 mm

行程·10 mm

• 超安静运动,20 kHz驱动频率;

• 极紧凑外形设计,分为35mm和 65mm 两类;

• 闭环控制·位置传感⽀持光学型;

• 高精度·空间传感分辨率2 nm(默认), 0.5 nm(.adv), 50 nm(.E)可选;

• 最小步伐优于 10 nm;

• 可提供多轴堆叠安装转接件;

• 控制器兼容旋转台,摇摆台;

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件

LS35x
.Lab

LS65x
.Lab

LS35z
.Lab

LS65z
.Lab

LS65z
.Lab.LR

Travel Range 行程

20 mm

30 mm

10 mm

10 mm

20 mm

Options 升级选项

扩展可选:.NM ~ 完全无磁;.HV ~ 高真空; .UHV ~ 超高真空兼容

Materials 材料

不锈钢/铝合金/纯钛

Encoder Type 位置传感种类

光学位置传感

Encoder resolution 位置传感分辨率

标准-2 nm,0.5 nm、50 nm可选

标准2 nm,0.5 nm可选

空间推荐安装形式(下列性质均在推荐安装形式下测得)

安装姿态: 1.保持位移台最大平面水平;2.保持内侧滑轨安装平面朝上;

Motion Direction 运动方向

x 轴 ~ 水平方向

z 轴 ~ 垂直方向

Step Size 最小位移

min. 10 nm

Maximum Step Frequency 最大驱动频率

20 kHz

Speed 运动速度

1 mm/s ~ 20 mm/s

Max. Load 最大垂直负载

150 g ~ 500 g

500 g(更大可定制)

1 kg

Pitch / Yaw Over Travel Range 全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

其他安装形式(可以但不推荐这样使用,建议采购多场针对性产品)

不推荐其他使用方式

Max. Load 最大垂直负载

150 g

150 g

Holding Force 保持力

5 N

其他

Cable Length 线缆长度

1 m

Size 产品尺寸

35 mm × 35 mm × 12 mm

65 mm × 65 mm × 13 mm

35 mm × 35 mm × 41 mm

65 mm × 65 mm × 44 mm

65 mm × 65 mm × 64 mm

Drawings 尺寸图

Controller 控制器