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.indus 系列—极简工业风的运动模块
多自由度·纳米级运动也可以搭积木

可选版本 ⇨

L060.indus

L100.indus

L180.indus

.NM, 绝对无磁版本;
.UHV,超高真空版本;

Size 产品尺寸

105 mm x 24 mm x 16.5mm

180 mm x 24 mm x 17 mm

300 mm x 36 mm x 18 mm

Main Material 主体材料

不锈钢/铝合金

Cables & Connectors 线缆 & 接头

标准屏蔽线缆 D-Sub 15

运动参数-空间推荐安装形式 I.(下列性质均在推荐安装形式下测得)

Travel Range 运动行程

60 mm

100 mm

180 mm

Max. Speed 最大速度

~ 20 mm/s

Step Size 最小步伐

约 5 nm

Step Frequency 驱动频率

Max. 20 kHz (超安静运动)

Dynamic Force 最大水平推力

3 N

Holding Force 保持力

5 N

Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

运动参数-空间推荐安装形式 II.(下列性质均在推荐安装形式下测得)

Max. Load 最大垂直负载

2 N

Holding Force 保持力

5 N

传感精度

Encoder Type 位置传感类型

– 光栅尺传感(.O )

Encoder Range 位置传感行程

60 mm

100 mm

180 mm

Encoder Resolution 位置传感分辨率

.O(光学传感器):1nm(其他分辨率规格详见Datasheet)