压电载物台·闭环 Carrier.xxxx.2D
➡ 针对载物台“⼤⾏程·⾼精度·重负载”需求的定制化解决⽅案
Carrier7550xy
备注
Active axes 运动轴
X.Y
Travel Range 行程
75mm × 50mm
Sensor Type 传感器类型
Resistive Encoder ( .R ) 电阻传感器
Optical Encoder ( .O ) 光学传感器
Sensor Resolution 传感器分辨率
( .R ) ~100 nm
( .O ) ~ 10 nm
Step Size 最小位移
Min. Below 50 nm
Maximum Step Frequency 最大驱动频率
Max. 20 kHz
Motion Repeatability 可重复性
( .R ) ~1 um
( .O ) ~ 50 nm
Velocity 速率
Max. 20 mm/s
Pitch / Yaw 俯仰/偏摆
0.8 mrad
Load Capacitance 最大负载
2 kg
Through Hole ( Effective ) 有效穿孔
85 mm × 65 mm
Footprint; Height 尺寸;高度
250 mm × 200 mm; 30 mm
Max Installation Space 最大安装空间
325 mm × 250 mm
Operating Temperature Range 工作温度
10 – 40 °C
Materials 材料
7075