多场科技压电运动·室温 / S100.Lab.XY / XYZ

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压电·二维/三维扫描运动 S100.Lab.XY / XYZ

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 二维度XY 扫描运动 100 um × 100 um;

• 三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um;

• 外形尺寸, 55 mm × 55 mm × 40 mm;

• 闭环定位精度优于 1 nm;

• 最大负载 500 g;

• 支持无磁 (.NM)和高真空(.UHV)选件升级;

可选版本 ⇨

S100.XY/XYZ.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

S100.Lab.XY: X, Y, 方向
S100.Lab.XYZ: X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

55 × 55 mm × 40 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

S100.XY.C: 100 um × 100 um
S100.XYZ.C: 100 um × 100 um × 100 um

Upgrade Options 升级选项

扩展可选:NM, 绝对无磁版本;UHV,超高真空版本;

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

0.2 nm(开环) 1nm(闭环)

Linear Error 线性误差

优于 0.01%

Resonance Frequency 共振频率

S100.XY.C: 400 Hz,350 Hz
S100.XYZ.C: 300 Hz

Rigidity 刚性

0.5 N/um

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器闭环传感器(闭环版本)

电容式

Piezo Capacity (Z) 压电电容 (Z)

150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

500 g

Cable Length 线缆长度

1 m / D-Sub 3W3

Drawings 尺寸图