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压电·单维度扫描运动 S100.z.C

紧凑型单轴Z方向运动,电容位置闭环控制

• Z方向扫描运动100 um;

• 外形尺寸,40 mm x 40 mm x 18 mm;

• 闭环定位精度优于1 nm (开环版本可选);

• 最大负载 500 g

• 支持无磁 (.NM)和高真空(.UHV)选件升级;

可选版本 ⇨

S100.z.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 方向

Size 底面尺寸*高度

40 × 40 mm × 18 mm

Main Material 主体材料

正常版本,不锈钢
.NM ,铝合金,不锈钢
.UHV,铝合金,纯钛

Travel Range 运动行程

100 um(闭环)

Cables & Connectors 线缆 & 接头

1 m/D-sub 3W3

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

0.2 nm

摇摆/俯仰

± 25 urad

Linear Error 线性误差

优于 0.02%

Resonance Frequency 共振频率

500 Hz

Rigidity 刚性

0.5 N/um

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器闭环传感器(闭环版本)

电容式

Piezo Capacity (Z) 压电电容 (Z)

150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

150 g

Drawings 尺寸图