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压电·单维扫描运动 S300.x.C

标准单轴扫描运动模块,支持电容&电阻闭环控制

• X方向运动范围300 um;

• 外形尺寸,50 mm x 50 mm x 17 mm;

• 闭环定位精度优于0.4 nm (开环版本可选);

• 最大负载 500 g;

• 支持无磁 (.NM)和高真空(.UHV)选件升级;

可选版本 ⇨

S300.x.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

X 方向

Size 底面尺寸*高度

50 × 50 mm × 17 mm

Main Material 主体材料

铝合金 & 不锈钢

Travel Range 运动行程

300 um(开环)
250 um (闭环)

Upgrade options 升级选项

扩展可选:NM, 绝对无磁版本;UHV,超高真空版本;

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率(开环)

3 nm

Linear Error 线性误差

优于 0.1%

Resonance Frequency 共振频率

350 Hz

Max Operating Voltage 驱动电压

Max.150 V

Max. Load 最大负载

500 g

Encoder Type 闭环传感器闭环传感器(闭环版本)

电容式

位置精度

1.5 nm

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

200 g

Cable Length 线缆长度

1m / D-Sub 3W3

Drawings 尺寸图