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压电·高速单轴扫描运动 – SD15/30.x.C

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

SD15.x.C

SD30.x.C

• X 方向扫描运动 15 um, 30 um;

• 外形尺寸 ,62 mm x 40 mm x 13.5 mm,
80 mm x 40 mm x 13.5 mm;

• 闭环定位精度优于 0.1 nm;

• 电容位置传感器;

• 高速运动响应;

• 真空(.HV),高真空(.UHV)选件升级;

可选版本 ⇨

SD15.x.C

SD30.x.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

X方向

Size 底面尺寸*高度

62 mm × 40 mm× 13.5 mm

80 mm × 40 mm× 13.5 mm

Main Material 主体材料

铝合金

Travel Range 运动行程

15 um (闭环)

30 um (闭环)

Upgrade Options 升级选项

扩展可选:HV,高真空版本 ;UHV,超高真空版本;

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

15 um (闭环)

30 um (闭环)

Repeatability 运动可重复精度

2 nm

4 nm

Linear Error 线性误差

优于 0.035%

Pitch 摇摆

2 urad

Yaw 俯仰

2 urad

Resonance Frequency 共振频率

3.3 kHz

Resonance Frequency 共振频率 (300g 负载)

1 kHz

0.625 kHz

Rigidity 刚性

28 N/um

18 N/um

Encoder Type 闭环传感器闭环传感器(闭环版本)

电容式

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

250 g

350 g

Cable Length 线缆长度

1 m / D-Sub 3W3

适配控制器

Archimedes 系列控制器

Drawings 尺寸图