Size 底面尺寸*高度

Ø70 × 65 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Wires 线缆&接头 (6x)

标准屏蔽线缆D-Sub15 x 2；kapton 漆包线，PEEK-D-Sub15 x 2

Max. Vertical Load 最大垂直负载

300 g

运动参数

Range 行程 X, Y, Z

± 5 mm，± 5 mm，± 2.5 mm

Range 行程 ΘX, ΘY, ΘZ

± 6 °, ± 13 °, ± 26 °

Unidirectional Repeatability
单向重复定位精度 X, Y, Z

± 0.15 μm, ± 0.15 μm, ± 0.1 μm

Unidirectional Repeatability
单向重复定位精度 ΘX, ΘY, ΘZ

± 8 μrad, ± 8 μrad, ± 8 μrad

Step Size 最小位移 X, Y, Z

10 nm, 10 nm, 10 nm

Step Size 最小位移 ΘX, ΘY, ΘZ

1 μrad, 1 μrad, 1 μrad

位置传感参数

Encoder Type 集成传感器

光学位置传感器

Encoder Resolution 位置传感分辨率

2 nm

控制器信息

Controller 控制器规格

MC-Free6D

Drawings 尺寸图