多场科技 — 压电运动·室温 / 通孔型·扫描台 / Carrier.S100/200.XYRz.C

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通孔型·三轴 XYRz 运动 Carrier.S100/200.XYRz.C

➡ 高负载·高速XY平面运动，Z轴旋转设计，保证XY面内准直运动

• 两维度 XY 扫描运动100/200 um, Z轴旋转运动±1 mrad；

• 闭环分辨率优于1 nm；

• 最大负载 5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案；

• 支持无磁 (.NM), 高真空(.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.S100.XYRz.C

Carrier.S200.XYRz.C

特殊版本可选 ⇨

.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；

基本信息

Motion Direction 运动方向

X, Y, θz

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um, 100 um & ±1 mard

200 um, 200 um & ±2 mard

Hollow Through Hole 中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 位置传感

Linear Error (z motion) 线性度误差 (z方向运动)

0.035%

Motion Resolution 运动分辨率（闭环/开环）

1 nm / 0.3 nm

2 nm / 0.5 nm

Repeatability 运动可重复精度

10 nm

Rigidity 刚性

2 N/ um

1 N/ um

Resonance Frequency 共振频率（空载/2.5 kg）

420 Hz/ 130 Hz

340 Hz/ 100 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY

Drawings 尺寸图