通孔型·双轴XY扫描运动 Carrier.S100/200.XY.Ｃ
➡ 高负载·高速XY平面运动，大通孔设计，并联设计+电容闭环传感
可选版本 ⇨
Carrrier.S100.XY.C
Carrrier.S200.XY.C
特殊版本可选 ⇨
.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本;
.NM 完全无磁版本;
基本信息
Motion Direction 运动方向
X, Y, 方向
Size 底面尺寸*高度
150 mm × 150 mm × 30 mm
Main Material 主体材料
铝合金 / 不锈钢
Travel Range 运动行程
100 um × 100 um
200 um × 200 um
Hollow Through Hole 中空透孔
66 mm × 66 mm
运动 & 位置传感
Linear Error 线性度误差
0.035%
Motion Resolution 运动分辨率 (闭环/开环)
1 nm / 0.2 nm
2 nm / 0.4 nm
Repeatability 运动可重复精度
10 nm
10 nm
Rigidity 刚性
2 N/ um
1 N/ um
Resonance Frequency 共振频率 (空载/2.5 kg)
420 Hz/ 130 Hz
340 Hz/ 100 Hz
Max. Load 最大负载
5 kg
Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）
电容式
Max Operating Voltage 驱动电压
Max. 150 V
其他信息
Recommended Operation Temperature 推荐使用温度
15 ~ 40 °C
Weight 重量
1 kg
Drawings 尺寸图
