多场科技压电运动·室温 /通孔型·扫描台(闭环)/ Carrier.HS100.z.C

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扫描运动·高负载通孔型 Carrier.HS100.z.C

高负载·高速Z方向运动,大通孔设计,并联设计+电容闭环传感

Carrier.HS100.z.C

• Z扫描运动 100 um;

• 闭环分辨率优于1 nm;

• 最大负载 3 kg;

• 针对光学显微镜-超分辨率定制化解决方案;

• ⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.HS100.z.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 方向

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um

Upgrade options 升级选项

扩展可选:NM, 绝对无磁版本;UHV,超高真空版本;

Hollow Through Hole 中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 定位

线性度误差(z方向运动)

0.035%

俯仰/偏摆/旋转

50 urad / 50 urad / 10 urad

Motion Resolution 运动分辨率(闭环/开环)

1 nm / 0.3 nm

Repeatability 运动可重复精度

± 10 nm

Rigidity 刚性

2.5 N/ um

Resonance Frequency 共振频率(空载/2.5 kg)

500 Hz/ 200 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器(闭环版本)

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Drawings 尺寸图