基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 方向

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程

100 um

Upgrade options 升级选项

扩展可选：NM， 绝对无磁版本；UHV，超高真空版本；

Hollow Through Hole 中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 定位

线性度误差（z方向运动）

0.035%

俯仰/偏摆/旋转

50 urad / 50 urad / 10 urad

Motion Resolution 运动分辨率（闭环/开环）

1 nm / 0.3 nm

Repeatability 运动可重复精度

± 10 nm

Rigidity 刚性

2.5 N/ um

Resonance Frequency 共振频率（空载/2.5 kg）

500 Hz/ 200 Hz

Max. Load 最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器（闭环版本）

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Drawings 尺寸图