通孔型·三轴 ZTxTy 运动 Carrier.S100/200.ZTxTy.C
➡ 高负载 Z 方向扫描运动，两轴摇摆调节，保证真正准直
可选版本 ⇨
Carrier.S100.ZTxTy.C
Carrier.S200.ZTxTy.C
特殊版本可选 ⇨
.HV 高真空版本;
.UHV 超高真空版本；
.NM 完全无磁版本；
基本信息
Motion Direction 运动方向
Z，θx & θy
Size 底面尺寸*高度
150 mm × 150 mm × 30 mm
Main Material 主体材料
铝合金 / 不锈钢
Travel Range 运动行程（Z, θx & θy ）
100 um, ±1 mrad & ±1 mrad
200 um, ±2 mrad & ±2 mrad
Hollow Through Hole 中空透孔
66 mm × 66 mm
运动 & 位置传感
Z-axis Linear Error Z线性度误差
0.035%
θ Linear Error θ线性度误差
0.15%
Z Motion Resolution Z 运动分辨率 (闭环/开环)
1 nm / 0.5 nm
1.5 nm / 0.7 nm
ΘMotion Resolution θ运动分辨率 (闭环/开环)
0.05 urad / 0.04 urad
0.1 urad / 0.06 urad
Repeatability 运动可重复精度 (Z & θ)
10 nm, ±0.05 urad
10 nm, ±0.1 urad
Rigidity 刚性
2 N/ um
1.5 N/ um
Z Resonance Frequency Z共振频率 (空载/2.5 kg)
480 Hz/ 180 Hz
350 Hz/ 125 Hz
Θ Resonance Frequency θ共振频率 (空载/2.5 kg)
500 Hz/ 190 Hz
370 Hz/ 110 Hz
Max. Load最大负载
5 kg
Encoder Type 闭环传感器
电容式
Max Operating Voltage 驱动电压
Max. 150 V
其他信息
Recommended Operation Temperature 推荐使用温度
15 ~ 40 °C
Weight 重量
1 kg
Install 安装
螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY
Drawings 尺寸图
