基本信息

Motion Direction 运动方向

Z，θx & θy

Size 底面尺寸*高度

150 mm × 150 mm × 30 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Travel Range 运动行程（Z，θx & θy ）

100 um，1 mrad & 1mrad

Upgrade options 升级选项

扩展可选：UHV，超高真空版本；

Hollow Through Hole中空透孔

66 mm × 66 mm

运动 & 定位

Z线性度误差

0.035%

θ线性度误差

0.15%

Z Motion Resolution Z 运动分辨率（闭环/开环）

1 nm / 0.5 nm

ΘMotion Resolution θ运动分辨率（闭环/开环）

0.05 urad / 0.04 urad

Repeatability 运动可重复精度 (Z & θ)

±10 nm, ±0.1 urad

Rigidity 刚性

2 N/ um

Z Resonance Frequency Z共振频率（空载/2.5 kg）

480 Hz/ 160 Hz

Θ Resonance Frequency θ共振频率（空载/2.5 kg）

500 Hz/ 150 Hz

Max. Load最大负载

5 kg

Encoder Type 闭环传感器

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

1 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550.XY

Drawings 尺寸图