压电载物台·闭环 Carrier.OB100.HL
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RS35.Lab.R
Motion Direction 运动方向
Z 轴
Travel Range 运动行程
100 um
线性度
0.02%
内置传感器
电容式传感
传感器噪音
0.3 nm
Z方向分辨率,开环
0.1 nm
稳定时间 (90%位置到达)
10 ms
Resonance Frequency(无负载)
1 kg
Resonance Frequency(150 g 负载)
10 N*mm
Weight 重量
7 N*mm
Main Material 主体材料
不锈钢304,铝合金
Drawings 尺寸图