压电载物台·闭环 Carrier.OB100.C
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Carrier.OB100
基本信息
Motion Direction 运动方向
Z 轴
Main Material 主体材料
不锈钢304,铝合金
Travel Range 运动行程
100 um
Upgrade options 升级选项
扩展可选:NM, 绝对无磁版本; .HV, 高真空版本; UHV,超高真空版本;
线性度
0.1%
Pitch / Yaw 俯仰/偏摆
30 urad
内置传感器
电容式传感
传感器噪音
0.3 nm
Z方向分辨率,开环
0.1 nm
稳定时间 (90%位置到达)
15 ms
Rigidity 刚性
0.4 N/um
Resonance Frequency 共振频率(无负载)
500 Hz
Resonance Frequency 共振频率(150 g 负载)
250 Hz
Weight 重量
270 g
Drawings 尺寸图