多场科技 — 压电运动·室温 / RSxx.Lab.X

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压电载物台·闭环 Carrier.OB100.C

➡ 针对载物台“大行程·高精度·重负载”需求的定制化解决方案

• 二维度XY 扫描运动 100 um × 100 um；

• 三维度XYZ 扫描运动 100 um × 100 um × 100 um；

• 外形尺寸， 40 mm × 40 mm × 31 mm；

• 闭环定位精度优于 1 nm；

• 最大负载 500 g；

• ⽀持无磁 (.NM) 和高真空 (.UHV) 选件升级

可选版本 ⇨

Carrier.OB100

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 轴

Main Material 主体材料

不锈钢304，铝合金

Travel Range 运动行程

100 um

Upgrade options 升级选项

扩展可选：NM， 绝对无磁版本； .HV， 高真空版本; UHV，超高真空版本；

线性度

0.1%

Pitch / Yaw 俯仰/偏摆

30 urad

内置传感器

电容式传感

传感器噪音

0.3 nm

Z方向分辨率，开环

0.1 nm

稳定时间 (90%位置到达)

15 ms

Rigidity 刚性

0.4 N/um

Resonance Frequency 共振频率（无负载）

500 Hz

Resonance Frequency 共振频率（150 g 负载）

250 Hz

Weight 重量

270 g

Drawings 尺寸图