多场科技 — 压电运动·室温 / RSxx.Lab.X

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压电·二维/三维扫描运动 Carrier.R200

➡ 针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制化解决方案

• 超安静运动，20 kHz驱动频率；

• 极紧凑外形设计，分为 35 mm 和 65 mm 两类；

• 闭环控制·位置传感⽀持电阻型(.R) 和光学型(.O)；

• 高精度·空间传感分辨率(.O)  0.75 urad；

• 经济型·空间传感分辨率(.R) 1 mrad；

• 最小步伐优于 10 nm；

• 可提供多轴堆叠安装转接件；

• 控制器兼容位移台，旋转台和摇摆台；

• 支持无磁（.NM）和超高真空（.UHV）选件；

可选版本 ⇨

Carrier.Ｒ200

基本信息

Motion Direction 运动方向

Z 轴旋转

Size 底面尺寸*高度

200mm × 200 mm × 24 mm

Main Material 主体材料

铝合金

Travel Range 运动行程

360°

Upgrade options 升级选项

扩展可选：NM， 绝对无磁版本；UHV，超高真空版本；

Hollow Through Hole 中空透孔

φ 190 / φ 60 mm

运动 & 定位

运动方式

连续运动

光栅尺分辨率

1 urad

驱动频率

Max. 20 kHz

自锁力矩

20 N*mm

驱动力矩

15 N*mm

Repeatability 运动可重复精度

300 µ° / 6 urad

Max. Load 最大负载

1 kg

Max Operating Voltage 驱动电压

Max. 120V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

15 ~ 40 °C

Weight 重量

2 kg

Install 安装

螺纹孔自动兼容 Carrier.L7550

Drawings 尺寸图