多场科技 — 压电运动·室温 / Free6D.3-2.150.G2

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压电·六轴并联 Free6D.3-2.150.G2

➡ 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

• 由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构，有效降低累积误差；

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高；

• 平动行程：X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm；

• 角摆行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °；

• 最小步伐：0.1 μm/5 μrad；

• 可提供真空环境规格；

可选版本 ⇨

Free6D.3-2.150.G2

Size 底面尺寸*高度

φ 150 mm × 90 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Cable&Connect 线缆&接头

正常版本-标准屏蔽线缆 D-Sub 15

.HV版本.UHV版本-Kapton 漆包线，PEEK-2mm插针

Max. Load 最大垂直负载

1 kg

运动 & 定位

Range 行程 X，Y，Z

± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm

Range 行程 ΘX， ΘY， ΘZ

± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

Unidirectional Repeatability 单向重复定位精度 X, Y, Z

± 0.25 μm, ± 0.25 μm, ± 0.1 μm

Unidirectional Repeatability 单向重复定位精度 ΘX, ΘY, ΘZ

± 5 μrad, ± 5 μrad, ± 5 μrad

Step Size 最小位移 X, Y, Z

20 nm, 20 nm, 20 nm

Step Size 最小位移 ΘX, ΘY, ΘZ

1 μrad, 1 μrad, 1 μrad

位置传感参数

Encoder Type 集成传感器

光学编码器

Encoder Resolution 位置传感分辨率

2 nm

Drawings 尺寸图