Size 底面尺寸*高度

φ 150 mm × 90 mm

Main Material 主体材料

铝合金 / 不锈钢

Wires 线缆&接头 (6x)

标准屏蔽线缆 D-Sub 15

Kapton 漆包线，PEEK D-Sub15插针

Max. Vertical Load 最大垂直负载

1 kg

运动参数

Range 行程 X, Y, Z

± 10 mm，± 10 mm，± 5 mm

Range 行程 ΘX, ΘY, ΘZ

± 10 °, ± 10 °, ± 20 °

Unidirectional Repeatability
单向重复定位精度 X, Y, Z

± 0.25 μm, ± 0.25 μm, ± 0.1 μm

Unidirectional Repeatability
单向重复定位精度 ΘX, ΘY, ΘZ

± 5 μrad, ± 5 μrad, ± 5 μrad

Step Size 最小位移 X, Y, Z

20 nm, 20 nm, 20 nm

Step Size 最小位移 ΘX, ΘY, ΘZ

1 μrad, 1 μrad, 1 μrad

位置传感参数

Encoder Type 集成传感器

光学编码器

Encoder Resolution 位置传感分辨率

2 nm

控制器信息

Feature 功能

根据用户输入的位移指令，实现对位移台六轴空间姿态的运动调节

Control Method 控制方式

各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；
通过专用软件，实现对六轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现六轴空间姿态的同时调节

Controller Size 控制器尺寸

482 mm x 355 mm x 89 mm

Weight 重量

6.5 kg

Operating Voltage 工作电压

220 V

Max. Output Voltage 最大输出电压

50 V

Max. Output Frequency  最大输出频率

 20 kHz

Max. Output Power 最大输出功率

100 W

Working Environment 工作环境

0～50 °C，<70 % RH

Controller Channels 控制器通道

6通道输出控制

Stage Interface 位移台通道接口

DB15 female，6组

Communication Interface 通讯接口

USB串口

Software 控制软件

提供PC端使用软件，支持labview，串口命令集控制

Drawings 尺寸图