.indus 系列—极简工业风的运动模块
多自由度·纳米级运动也可以搭积木
可选版本 ⇨
L060.indus
L100.indus
L180.indus
.NM， 绝对无磁版本；
.UHV，超高真空版本；
Size 产品尺寸
Main Material 主体材料
不锈钢
Cables & Connectors
线缆 & 接头
运动参数-空间推荐安装形式 I.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
Travel Range 运动行程
60 mm
100 mm
180 mm
Max. Speed 最大速度
~ 20 mm/s
Step Size 最小步伐
~ 10 nm
Step Frequency 驱动频率
Max. 20 kHz （超安静运动）
Dynamic Force 最大水平推力
3 N
Holding Force 保持力
5 N
Pitch / Yaw Over Travel Range
全行程俯仰/偏摆
0.3 mrad / 0.2 mrad
运动参数-空间推荐安装形式 II.（下列性质均在推荐安装形式下测得）
Max. Load 最大垂直负载
2 N
Holding Force 保持力
5 N
传感精度
Encoder Type 位置传感类型
– 电阻型传感（ .R ）| – 光栅尺传感（.O ）
Encoder Range 位置传感行程
60 mm
100 mm
180 mm
Encoder Resolution 位置传感分辨率
– 电阻型传感（ .R ），100-200 nm | – 光栅尺传感（.O ），10 nm，1 nm可选（默认10 nm）