压电载物台·闭环 Carrier.Lxxxx.XY
➡ 针对载物台“⼤⾏程·⾼精度·重负载”需求的定制化解决⽅案
Carrier.L7550.XY
Carrier.1010.XY
基本信息
Active axes 运动轴
X,Y
Size 底面尺寸*高度
250 mm × 200 mm × 30 mm
250 mm × 200 mm × 30 mm
Max Installation Space 最大安装空间
325 mm × 250 mm
Through Hole ( Effective ) 有效穿孔
85 mm × 65 mm
Upgrade options 升级选项
扩展可选:NM, 绝对无磁版本,HV,高真空版本;UHV,超高真空版本;
Materials 材料
铝合金
Cable Length 线缆长度
标准屏蔽线缆
微型航插
kapton漆包线,
PEEK-2mm插针
标准屏蔽线缆
微型航插
标准屏蔽线缆
微型航插
Operating Temperature Range 工作温度
10 – 40 °C
Weight 重量
2333 g
运动参数-空间推荐安装形式 I.(下列性质均在推荐安装形式下测得)
Travel Range 行程
75 mm × 50 mm
100 mm × 100 mm
Max. Speed 最大速度
~ 15 mm/s
Step Size 最小位移
~ 20 nm
Maximum Step Frequency 最大驱动频率
Max. 20 kHz (超安静运动)
Load Capacitance 最大负载
2 kg
全行程俯仰/偏摆
0.8 mrad(0.46°)
传感精度
Sensor Type 传感器类型
– 光栅尺传感(.O )
位置传感量程
75 mm × 50 mm
位置传感分辨率
– 光栅尺传感(.O ),10 nm,1nm可选(默认10nm)
Drawings 尺寸图