压电·单维度扫描运动 S100. z.C
➡ 紧凑型单轴Z方向运动,电容位置闭环控制
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S100.z.C
基本信息
Motion Direction 运动方向
Z 方向
Size 产品尺寸
40 × 40 mm × 18 mm
Main Material 主体材料
正常版本,不锈钢
.NM ,铝合金,不锈钢
.UHV,铝合金,纯钛
Travel range 运动行程
100 um(闭环)
Cables & Connectors 线缆 & 接头
20 cm/SMA 接头
运动 & 定位
Motion Resolution 运动分辨率
0.2 nm
Max. Speed 运动可重复精度
10 nm
Linear Error 线性误差
优于 0.01%
Resonance Frequency 共振频率
400 Hz
Rigidity 刚性
0.5 N/um
Max. Load 最大负载
500 g
Max. Load 最大负载
1 kg
Encoder Type 闭环传感器闭环传感器(闭环版本)
电容式
Piezo Capacity (Z) 压电电容 (Z)
3 uF
其他信息
Recommended Operation Temperature 推荐使用温度
-20 ~ 80 °C
Weight 重量
150g
Drawings 尺寸图