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压电·三维扫描运动 SH30.xyz.C

针对精密光学、半导体表征等“3自由度扫描运动”需求的定制解决方案

SH30.xyz.C

• 三维度XY扫描运动 30 um x 30 um x 15 um;

• 外形尺寸,160 mm x 160 mm x 35 mm;

• 闭环分辨率优于 0.3 nm;

• 最大负载10 kg;

• 支持高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级;

可选版本 ⇨

SH30.xyz.C

基本信息

Motion Direction 运动方向

 X, Y, Z 方向

Size 底面尺寸*高度

160 mm × 160 mm × 35 mm

Main Material 主体材料

不锈钢

Travel Range 运动行程

30 um × 30 um × 15 um

Upgrade options 升级选项

扩展可选:NM, 绝对无磁版本;UHV,超高真空版本;

运动 & 定位

Motion Resolution 运动分辨率

0.1 nm(开环)0.3 nm(闭环)

Repeatability 运动可重复精度(闭环)

< 3 nm

偏摆角度

20 urad / 20 urad / 50 urad

Resonance Frequency共振频率 (空载)

500 Hz

Max. Load 最大负载

10 kg

Encoder Type 闭环传感器(闭环版本)

电容式

Max Operating Voltage 驱动电压

150 V

其他信息

Recommended Operation Temperature 推荐使用温度

-20 ~ 80 °C

Weight 重量

3 kg

Cable Length 线缆长度

1 m / D-sub 3W3

Drawings 尺寸图