电容式位置传感
亚纳米级空间分辨率，多通道高速并行数据采集，支持超高真空、完全无磁特殊使用环境
50 kSa/s
数据采集&传输带宽
UHV
超高真空兼容
0.2 ~ 3 mm
宽量程覆盖
亚纳米级
超高分辨率
≤ ±0.01% FSO
高线性度
传感器
多种量程 & 多种安装形态
提供平板、圆柱和螺柱三种探头形式，量程覆盖 0.2 mm, 0.5 mm, 1 mm, 2 mm & 3 mm
提供高真空.HV、 超高真空.UHV & 完全无磁材料.NM 的多版本选择
技术参数
选择更适合的那款
传感器·基础信息
1
探头形式
平板型 .FLT
圆柱型 .CYL
螺柱型 .SCR
2
安装方式
螺钉
M1.6/ M2/ M2.5
夹持
Φ 8 mm
螺纹
M 10 × 1
3
线缆连接方式
集成
插拔
插拔
4
壳体材料
纯钛
5
测量范围 1
0.2 mm
0.5 mm
1 mm
2 mm
3 mm
6
线性度 2
± 0.02 um
± 0.05 um
± 0.10 um
± 0.20 um
± 0.30 um
7
灵敏度 3
50 V/mm
20 V/mm
10 V/mm
5 V/mm
3.33 V/mm
8
分辨率 4
动态 5
静态 6
4 nm
0.2 nm
10 nm
0.5 nm
20 nm
1 nm
40 nm
2 nm
60 nm
3 nm
位置监视器·性能参数
9
带宽
10 kHz / 1 kHz / 20 Hz
10
线性度
± 0.01 % FSO 7
11
分辨率
动态 @ 10 kHz
0.002 % FSO
静态 @ 20 Hz
0.0001 % FSO
12
灵敏度偏差
± 0.01 %
13
重复性
0.0003 % FSO
14
温度稳定性
10 ppm/℃
15
输出形式
软件端
硬件端
FaradayRead 软件
默认搭配软件，直接显示距离，支持实时频谱分析和数学公式处理等高级功能
二次开发包
Labview, C & C#
模拟输出接口
BNC 接口: 0~10V (默认); ±5V、±10V (可选)
数字输出接口
Ethernet, EtherCAT ; SPI 接口 (可选)
16
输出速率
模拟输出
Max. 10 kHz @ -3 dB
数字输出
50 kSa/s × 8 通道
17
通道数
单机最大支持 8 通道
18
同步
多个监视器之间支持同步
1. 测量范围，传感器探头的最大测量距离；
2. 线性度，行业通用参数，反应出厂校准的环境下传感器测量的绝对精度；
3. 灵敏度，行业通用参数，传感器系统输出对输入变化的响应比例，即单位位移所对应输出电压的大小；
4. 分辨率，行业通用参数，在特定宽带下能够测量的最小位移增量，以 RMS noise 值给出；
5. 动态，指 10 kHz 带宽时分辨率；
6. 静态，指 20 Hz 带宽时分辨率；
7. FSO，Full-Scale Output 缩写，满量程输出；
位置监视器·Faraday系列
单机最多可达8通道，自由配置
灵活带宽选择，高速数据采集
EtherNET 接口
千兆网口，支持 8 × 50 kSa/s
通道并行数据传输
EtherCAT 接口
多个Faraday系列监视器级联
Sync IN/OUT 同步接口
多个监视之间激励信号同步，
用于非接地状况下测量
BNC 模拟输出接口
10 kHz、2 kHz & 20 Hz
模拟带宽可调
Faraday 系列位置监视器, 由两部分组成: 主机 (Box0X) 和板卡(Faraday), 高级扩展功能可插卡选配
0.3 – 3 倍
量程拓展可定制
0~10 V / ±5 V / ±10 V
模拟输出范围可选
零点位置可调
可指定测量范围内
任意位置为零点
SPI 接口
数据更新间隔 20 µs
插卡式拓展
灵活定制
支持OEM定制
功能·高速数据采集
50 kSa/s 数据采集，高速记录冲击式振动
全程无遗漏
实测数据源自单脉冲式敲击引发的平面振动，监视运动全程无死角
功能·软件功能
实时 FFT 分析
多通道位置数据显示
采样率可调
FFT分析
实时频谱分析
速度 & 加速度分析
实时差分信号
数据索引
自动寻峰/谷
软件归零
随时配置数字零点
超范围预警
预警条件可设置
功能·高速实时通讯
20 µs / 数据点 实时通讯
用于超精密运动闭环控制
选用 C1-FLT 传感器搭配 Faraday.03 监视器提供实时位置信息，每 20 μs 进行一次位置更新，为 PID 闭环控制提供关键支持。
闭环运动系统可在 5.3 ms 内实现启动、加速、匀速、减速和停止五个运动过程，并完成 1 μm 的平滑阶跃，且无过冲现象。