多场科技 — 压电运动·室温 / Carrier

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通孔·扫描台 [闭环]

Carrier.S 系列，标准型

XY & XYZ 运动，并联运动构型

支持电容(.C) 位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

XY , 2维度运动              XYZ，3维度运动

 

Carrier.S200.xy.C；Carrier.S200.xyz.C

XY，XYZ方向运动，大行程 & 快速响应

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外形尺⼨· 182 mm × 150 mm × 15 mm

行程· 200 um x 200 um

行程· 200 um x 200 um x 200 um

通孔·扫描台 [闭环]

Carrier.HS 系列，重载型

XY & XYZ 运动，并联·水平运动构型

支持电容(.C)位置传感 ；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

XY , 2维度运动

  XYRz，3维度运动

Carrier.HS100.xy.C

高负载XY方向运动，保证面内线性运动

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外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程· 100 um

Carrier.HS100.xyRz.C

高负载XY方向运动，增加Rz自动度调节

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外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程·100 um x 100 um x 1 mrad

通孔·扫描台 [闭环]

Carrier.HS 系列，重载型

Z & ZTxTy 运动，并联·垂直运动构型

支持电容(.C) 位置传感；最高分辨率达到0.2 nm；支持超高真空(.UHV)选件升级

 Z , 单维度运动

 ZTxTy , 3维度运动

Carrier.HS100.z.C

高负载Z向运动，高准直设计

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外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 150 mm

行程· 100 um

 

Carrier.HS100.zTxTy.C

高负载Z向运动，增加TxTy自由度调节

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外形尺⼨· 150 mm × 150 mm × 30 mm

行程· 100 um x 1 mrad x 1 mrad