长行程·运动台·Lab系列

速度，负载和外形尺寸的均衡选择

LS35x.Lab 水平台

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LS35z.Lab 升降台

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LS65x.Lab 水平台

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LS65z.Lab 升降台

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线性台·闭环
LSxx.Lab

• 有35 mm & 65 mm 两个外形尺寸可选择

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和旋转台、摇摆台通用

RS35.Lab

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RS65.Lab

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GS35.Lab

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GS65.Lab

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旋转台·闭环
RSxx.Lab

• 有35 mm & 65 mm 两个外形尺寸可选择

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和线性台、摇摆台通用

摇摆台·闭环
GSxx.Lab

• 有35 mm & 65 mm 两个外形尺寸可选择

• 内置集成光学位置传感器

• 支持无磁 (.NM)；高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和线性台、旋转台通用

长行程·运动台·Indus系列

极简的设计，超宽泛的运动行程

线性台·闭环
Lxxx.Indus

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• 30, 60, 100, 150 & 200 mm 行程可选

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 高负载、支持多种拼接案例

• 支持超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用

长行程·运动台·Mini系列

超紧凑外形，线性运动台

压电·mini线性台
X20.mini

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• 20 × 20 mm × 12 mm极紧凑外形设计

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 支持无磁(.NM), 高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级

• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用

长行程·运动台·Carrier系列

针对显微领域的大尺寸运动集成方案

载物台·位移 ( 闭环 )
Carrier.Lxxx.XY

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• 行程覆盖 75 mm × 50 mm & 100 mm × 100 mm

• 内置集成光学位置传感器，2 nm分辨率

• 最大负载支持 2.5 kg

• ⽀持标准显微镜载物台安装接⼝

• ⽀持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级

载物台·旋转 ( 闭环 )
Carrier.R200

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• 旋转角度360度，连续旋转

• 内置集成光学位置传感器，1 μrad分辨率

• 最大负载支持 2 kg

• 支持标准显微镜载物台安装接口

• 支持 超高真空(.UHV)选件升级

长行程·运动台·FreeXD

并联结构·同时保证自由度和精度的最好选择

三轴并联
Free3D.ZTxTy.150

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• 三自由度并联结构

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

• 平动行程：Z ±5 mm

• 角摆行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °

• 最小步伐：25 nm/7.5 μrad

• 可提供真空环境规格

六轴并联
Free6D.3-2.150.G2

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• 六自由度并联结构

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高

• 平动行程：X, Y, Z ±10 mm, ±10 mm, ±5 mm

• 角摆行程：ΘX, ΘY, ΘZ ±10 °, ±10 °, ±20 °

• 最小步伐：20 nm/1 μrad

• 可提供真空环境规格

短行程·扫描台·紧凑型&通孔型

紧凑型·扫描台 (闭环)
S , SD & SH系列

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• 极紧凑设计，覆盖X，Z，XY & XYZ 运动方向

• 运动行程覆盖100 um到300 um (可定制更大行程)

• 全新设计保证高工作频率，极快响应

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

物镜通孔型·扫描台 (闭环)
Carrier.OB.系列

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• Z方向单一运动方向，行程覆盖50, 100 & 400 um

• 快速运动稳定，10 ms内完成

• 支持高负载物镜选项；提供多种物镜转接接口

• 支持第三方软、硬件控制，实现自动对焦

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

通孔型·扫描台 (闭环)
Carrier.S & SL系列

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• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等运动形式全面支持

• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

短行程·扫描台·摆镜系列

全运动行程，高动态镜片运动控制，闭环操作

Mirrors.Z12 Z轴扫描

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Mirrors.TxTy 两维偏转

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Mirrors.Z12TxTy0101 三自由度调节

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压电·镜片偏摆台（闭环）
Mirrors系列

• 支持多自由度运动

• 线性运动行程覆盖12 um

• 提供大行程镜片运动控制

• 最高精度urad级别

• 毫秒级运动响应，高分辨率相位调节

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级