位移台·闭环·Lab系列
线性台·闭环
LSxx.Lab
• 有35 mm & 65 mm 三个外形尺寸可选择
• 内置集成光学位置传感器
• 支持无磁 (.NM);高真空(.HV)和超高真空(.UHV)选件升级
• 控制器和旋转台、摇摆台通用
位移台·闭环·Indus系列
线性台·闭环
Lxxx.Indus
• 30, 60, 100, 120, 150 & 180 mm 行程可选
• 内置集成光学位置传感器,2 nm分辨率
• 高负载、支持多种拼接案例
• 支持超高真空(.UHV)选件升级
• 控制器和Lab系列线性台,旋转台和摇摆台通用
扫描台·闭环
紧凑型·扫描台(闭环)
S , SD & SH系列
• 极紧凑设计,覆盖X,Z,XY & XYZ 运动方向
• 运动行程覆盖100 um到300 um(可定制更大行程)
• 全新设计保证高工作频率,极快响应
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
物镜型·扫描台(闭环)
Carrier.OB.系列
• Z方向单一运动方向,行程覆盖50, 100 & 400 um
• 快速运动稳定,10 ms内完成
• 支持高负载物镜选项;提供多种物镜转接接口
• 支持第三方软、硬件控制,实现自动对焦
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
通孔型·扫描台(闭环)
Carrier.S & HS系列
• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动
• X,Z,XY,XYZ & ZTT等运动形式全面支持
• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持电容(.C) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
载物台·闭环·Carrier系列
载物台·位移 ( 闭环 )
Carrier.L7550.XY
• 线性行程覆盖 75 mm × 50 mm
• 内置集成光学位置传感器,2 nm分辨率
• 最大负载支持2.5 kg
• ⽀持标准显微镜载物台安装接⼝
• ⽀持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
载物台·旋转 ( 闭环 )
Carrier.R200
• 旋转角度360度,连续旋转
• 内置集成光学位置传感器,1 μrad分辨率
• 最大负载支持 2.5 kg
• 支持标准显微镜载物台安装接口
• 支持 超高真空(.UHV)选件升级
六轴并联·Free6D
六轴并联
Free6D.3-2.150.G2
• 由纳米级驱动单元实现的六自由度并联结构,有效降低累积误差
• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高
• 平动行程:X, Y, Z ±9 mm, ±9 mm, ±5 mm
• 角摆行程:ΘX, ΘY, ΘZ ±10°, ±10°, ±20°
• 最小步伐:0.1 μm/5 μrad
• 可提供真空环境规格