位移台·闭环·Lab系列
线性台·闭环
LSxx.Lab.X
• 有25mm, 35mm & 65mm 三个外形尺寸可选择
• 电阻型位置传感(.R)，光学encoder位置传感(.O)可选
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
• 控制器和旋转台、摇摆台通用
位移台·闭环·Indus系列
线性台·闭环
LSXXX.Indus
• 30, 60, 100, 120, 150 & 180 mm 行程可选
• 纳米级位置传感(.O), 1 nm / 10 nm可选
• 高负载、支持多种拼接案例
• 支持超高真空(.UHV)选件升级
• 控制器和Lab系列线性台，旋转台和摇摆台通用
扫描台·闭环
紧凑型·扫描台（闭环）
S , SD & SH系列
• 极紧凑设计，覆盖X，Z，XY & XYZ 运动方向
• 运动行程覆盖100um到300um（可定制更大行程)
• 全新设计保证高工作频率，极快响应
• 支持电容(.C) & 电阻(.R) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
物镜型·扫描台（闭环）
Carrier.OB.系列
• Z方向单一运动方向，行程覆盖50, 100 & 400um
• 快速运动稳定，10ms内完成
• 支持高负载物镜选项；提供多种物镜转接接口
• 支持第三方软、硬件控制，实现自动对焦
• 支持电容(.C) & 电阻(.R) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
通孔型·扫描台（闭环）
Carrier.S & HS系列
• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动
• X，Z，XY，XYZ & ZTT等运动形式全面支持
• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)
• 支持电容(.C) & 电阻(.R) 位置传感
• 最高分辨率达到0.2 nm
• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试
• 支持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
载物台·闭环·Carrier系列
载物台·位移 ( 闭环 )
Carrier.L7550.XY
• 线性行程覆盖 75mm × 50mm
• 光学定位精度10 nm
• 最大负载支持2.5 kg
• ⽀持标准显微镜载物台安装接⼝
• ⽀持无磁 (.NM), 超高真空(.UHV)选件升级
载物台·旋转 ( 闭环 )
Carrier.R200
• 旋转角度360度，连续旋转
• 闭环定位精度 1 urad
• 最大负载支持 1 kg
• 支持标准显微镜载物台安装接口
• 支持 超高真空(.UHV)选件升级